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536页
微机电系统设计与加工
(美)MOHAMEDGAD-EL-HAK编著
2010.02
250页
微机电系统(MEMS)原理、设计和分析
田文超著
2009.05
291页
微电机结构工艺学
张子忠编
1988.11
317页
步进电动机及其驱动控制系统
刘宝廷等编著
1997.11
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