微机电系统（MEMS）原理、设计和分析 封面

《微机电系统（MEMS）原理、设计和分析》

田文超 |西安：西安电子科技大学出版社 | 2009年05月

ISBN：9787560622231

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关键词：微电机

页数：250

出版社地址：未知

价格：未知

学科分类： 工业技术 → 电工技术 → 电机 → 微电机

更新时间：2026年02月08日

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《微机电系统（MEMS）原理、设计和分析》内容简介

本书系统地介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识，内容包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、设计方法、加工工艺、表面特性、检测技术、主要应用以及COMSOL软件、微机电系统模块仿真。

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