《微机电系统设计与加工》

MOHAMEDGAD-EL-HAK |北京：机械工业出版社 | 2010年02月

ISBN：9787111285977

关键词：微电机-系统设计

页数：536

出版社地址：未知

价格：未知

学科分类： 工业技术 → 电工技术 → 电机 → 微电机

更新时间：2026年02月01日

最近编辑： 暂无编辑记录

点此占领格子后刷新查看百万图书阅读或下载地址。
提示：如果既不想花钱占格子，又想看阅读下载地址，请仔细浏览本站内容，站长将阅读下载地址免费公布了的，就是需要仔细找找。

《微机电系统设计与加工》内容简介

本书主要介绍MEMS技术中材料和加工方面的知识。内容包括：MEMS中的材料，MEMS制造，LIGA及其微模压，基于X射线的加工，EFAB技术及其应用，单晶SiC MEMS制造、特性与可靠性，用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀，聚合物微系统：材料和加工，光诊断方法考察微流道的入口长度，应用于航空航天的微化学传感器，恶劣环境下的MEMS器件封装技术，纳机电系统制造技术，分子自组装基本概念及应用。

《微机电系统设计与加工》赏析

发布赏析

暂无赏析内容，快来发布第一篇赏析吧！

《微机电系统设计与加工》内容提问与解答

回答基于全网公开信息整理出来的本书相关信息。

我要出售我要求购

《微机电系统设计与加工》

《微机电系统设计与加工》内容简介

《微机电系统设计与加工》赏析

《微机电系统设计与加工》内容提问与解答

微机电系统设计与加工二手书交易信息