微机电系统设计与加工删除本页内容

丛书:MEMS系列

作者:(美)MOHAMEDGAD-EL-HAK编著

ISBN:1978-7-111-28597-72

关键词:微电机-系统设计

页数:536

出版社: 北京:机械工业出版社

出版日期:2010.02

发现时间:2024年10月5日 07:07



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本书主要介绍MEMS技术中材料和加工方面的知识。内容包括:MEMS中的材料,MEMS制造,LIGA及其微模压,基于X射线的加工,EFAB技术及其应用,单晶SiC MEMS制造、特性与可靠性,用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀,聚合物微系统:材料和加工,光诊断方法考察微流道的入口长度,应用于航空航天的微化学传感器,恶劣环境下的MEMS器件封装技术,纳机电系统制造技术,分子自组装基本概念及应用。

微电机-系统设计

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