微电机结构工艺学

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作者:张子忠编

ISBN:17-5603-0080-42

关键词:微电机-工艺学 工艺学-微电机

页数:291

出版社: 哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社

出版日期:1988.11

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图书简介

本书主要介绍微电机的结构、制造工艺和结构工艺性等问题。

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