微电机结构工艺学
删除本页内容作者:张子忠编
ISBN:17-5603-0080-42
关键词:微电机-工艺学 工艺学-微电机
页数:291
出版社: 哈尔滨：哈尔滨工业大学出版社
出版日期:1988.11
本书2025年5月18日可阅读或下载
本书主要介绍微电机的结构、制造工艺和结构工艺性等问题。
微电机-工艺学 工艺学-微电机
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