集成电路掩膜技术
删除本页内容作者:D. J. 埃利奥特著；宋柏泉等译
ISBN:17-313-00965-82
关键词:集成电路工艺-掩膜-技术-掩膜-集成电路工艺-技术
页数:240
出版社: 上海：上海交通大学出版社
出版日期:1989.11
本书2024年12月27日可阅读或下载
本书包括掩膜版玻璃基板制备、图形设计和数据产生、涂敷、刻蚀成像、图形测量、质量控制、生产技术等。
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