聚焦离子束微纳加工技术
删除本页内容作者:顾文琪，马向国，李文萍著
关键词:离子束聚变装置-离子束加工
页数:344
出版社: 北京：北京工业大学出版社
出版日期:2006.12
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国家科学技术学术著作出版基金资助:本书重点讲述聚焦离子束技术的原理；聚焦离子束系统的结构，包括离子源、离子光学柱体、图形发生器和精密工件台等；还探讨了聚焦离子束的有关关键技术。
离子束聚变装置-离子束加工
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