硅微型惯性器件理论及应用

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作者:王寿荣编著

ISBN:17-81050-693-52

关键词:硅-惯性元件-高等学校-硅-惯性元件

页数:178

出版社: 南京:东南大学出版社

出版日期:2000.10

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图书简介

普通高等学校规格教材:本书内容包括微型惯性器件的物理基础,硅微型惯性器件的原理结构及误差分析,硅微型惯性器件的制备工艺,硅微型惯性器件的组合及应用等。

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