硅微型惯性器件理论及应用
删除本页内容作者:王寿荣编著
ISBN:17-81050-693-52
关键词:硅-惯性元件-高等学校-硅-惯性元件
页数:178
出版社: 南京：东南大学出版社
出版日期:2000.10
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普通高等学校规格教材:本书内容包括微型惯性器件的物理基础，硅微型惯性器件的原理结构及误差分析，硅微型惯性器件的制备工艺，硅微型惯性器件的组合及应用等。
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