《电子束曝光微纳加工技术》

顾文琪 / 王理明 / 薛虹 / 方光荣 / 张福安 / 刘祖京 / 黄经筒 / 杨忠山 |北京：北京工业大学出版社 | 2004年07月

ISBN：暂无

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