电子束曝光微纳加工技术
删除本页内容作者:顾文琪主编；顾文琪，王理明，薛虹，方光荣，张福安，刘祖京，黄经筒，杨忠山著
关键词:电子束-曝光-研究
页数:310
出版社: 北京：北京工业大学出版社
出版日期:2004.07
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电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著:本书系统的介绍了电子束曝光技术的发展历史和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景，同时详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和技术指标。
电子束-曝光-研究
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