真空镀膜技术与设备
删除本页内容作者:李云奇主编
关键词:真空技术-镀膜(学科: 高等学校 学科: 教材) 镀膜-真空技术(学科: 高等学校 学科: 教材)
页数:293
出版社: 沈阳:东北工学院出版社
出版日期:1989.10
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高等工业学校教材:本书包括镀膜基本理论、蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀膜和束流沉积技术、设备的安装与维护等内容。
真空技术-镀膜(学科: 高等学校 学科: 教材) 镀膜-真空技术(学科: 高等学校 学科: 教材)
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