真空镀膜技术与设备

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作者:李云奇主编

关键词:真空技术-镀膜(学科: 高等学校 学科: 教材) 镀膜-真空技术(学科: 高等学校 学科: 教材)

页数:293

出版社: 沈阳:东北工学院出版社

出版日期:1989.10

本书2023年7月9日可阅读或下载


高等工业学校教材:本书包括镀膜基本理论、蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀膜和束流沉积技术、设备的安装与维护等内容。

真空技术-镀膜(学科: 高等学校 学科: 教材) 镀膜-真空技术(学科: 高等学校 学科: 教材)

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