等离子体与成膜基础

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作者:(日)小沼光晴著;张光华编译

关键词:等离子体物理学∶薄膜物理学 薄膜物理学∶等离子体物理学

页数:239

出版社: 北京:国防工业出版社

出版日期:1994.06

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等离子体与成膜基础

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