多层膜集成结构体声波谐振器 英文版

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作者:张亚非,陈达著

ISBN:1978-7-313-08736-22

关键词:膜集成电路-声表面波谐振器-英文

页数:152

出版社: 上海:上海交通大学出版社

出版日期:2012.12

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图书简介

本书系统地阐述了薄膜体声波谐振器的基本原理、设计方法、关键技术及其材料体系的要求,并对薄膜体声波谐振器的重要应用技术进行了总结概括与深入分析。

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