多层膜集成结构体声波谐振器 英文版
删除本页内容作者:张亚非,陈达著
ISBN:1978-7-313-08736-22
关键词:膜集成电路-声表面波谐振器-英文
页数:152
出版社: 上海:上海交通大学出版社
出版日期:2012.12
本书2025年3月29日可阅读或下载
本书系统地阐述了薄膜体声波谐振器的基本原理、设计方法、关键技术及其材料体系的要求,并对薄膜体声波谐振器的重要应用技术进行了总结概括与深入分析。
膜集成电路-声表面波谐振器-英文
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