微机电系统工程基础
作者： 王琪民，刘明侯，秦丰华编著
关键词： 微电机-系统工程-高等教育-教材
页数：370
出版社： 合肥：中国科学技术大学出版社
出版日期：
发现《微机电系统工程基础》在 2023-03-21 可全文阅读或下载。
图书简介
本书主要介绍相关的工程基础知识。本书共11章，较为详细介绍了半导体制作工艺、执行器、微系统的工作原理及制作方法和应用范围、各种新发展的微检测技术、微系统设计等，还重点介绍了微机电系统的固体力学、微流体力学和微尺度传热的基本知识，分析了微系统中的工程特点等。
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诉讼案号：（2022）川01民初4401，（2022）川01民初4403，（2022）川01民初4403，（2022）川0191民初19351号， （2022）川0191民初19594号，（2022）川0191民初20457号，（2022）川0191民初20459号， （2023）川知民终373号，（2023）川知民终374号，（2023）川知民终375号， （2024）川0191民初15977号，（2024）川0191民初15979号，（2024）川0191民初15980号， （2024）川0191民初15981号，（2024）川0191民初15982号
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