本书以介绍集成电路工艺和器件的模拟器为主线,概论IC TCAD技术早期的可实用的成果、随后的多方面发展、当今的研究进展和商用化现状,以及近期和远期的困难挑战和能力需求。
集成电路工艺-计算机模拟-集成电路-电路器件-计算机模拟
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