半导体集成电路制造技术

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丛书:长江学者论丛

作者:张亚非(等)编著

ISBN:17-04-018299-82

关键词:半导体集成电路-集成电路工艺-高等学校-教材

页数:390

出版社: 北京:高等教育出版社

出版日期:2006.06

发现半导体集成电路制造技术在2025年9月15日可全文阅读或下载。

图书简介

半导体集成电路发展到今天已经形成一个重大产业,本书主要讲述半导体集成电路产业的制造技术,既有基本原理和工艺技术的阐述,也有国内外近期发展状况介绍。根据半导体集成电路器件的基本原理和内部结构以及设计版图,通过半导体材料制备、化学清洗、薄膜淀积、n-p掺杂……

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