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作者:刘俊标，薛虹，顾文琪著
关键词:超大规模集成电路-集成电路工艺-电子束光刻-设备
页数:278
出版社:北京：北京工业大学出版社
出版日期:2004.12
发现时间:2023年8月9日 09:35
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超大规模集成电路-集成电路工艺-电子束光刻-设备
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