微纳加工中的精密工件台技术

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作者:刘俊标,薛虹,顾文琪著

关键词:超大规模集成电路-集成电路工艺-电子束光刻-设备

页数:278

出版社: 北京:北京工业大学出版社

出版日期:2004.12

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图书简介

电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著:本书重点讲述微纳加工中的关键部件——精密工件台的结构、原理和主要技术,以及通过精密工作台提高加工精度和生产效率的有效方法。

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