微纳加工中的精密工件台技术
删除本页内容作者:刘俊标，薛虹，顾文琪著
关键词:超大规模集成电路-集成电路工艺-电子束光刻-设备
页数:278
出版社: 北京：北京工业大学出版社
出版日期:2004.12
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电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著:本书重点讲述微纳加工中的关键部件——精密工件台的结构、原理和主要技术，以及通过精密工作台提高加工精度和生产效率的有效方法。
超大规模集成电路-集成电路工艺-电子束光刻-设备
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