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作者:盛篪等著
关键词:超晶格半导体(学科: 半导体物理学 学科: 研究) 超晶格半导体 半导体物理学
页数:294
出版社:上海:上海科学技术出版社
出版日期:2004.08
发现时间:2023年7月7日 12:23
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本书分别介绍了Si-xGex/Si体系的基本物理特性;Si分子束外延设备、实时监测分析技术及各种类型的Si-xGex/Si材料的外延生长技术等诸多内容。
超晶格半导体(学科: 半导体物理学 学科: 研究) 超晶格半导体 半导体物理学
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