硅锗超晶格及低维量子结构

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作者:盛篪等著

关键词:超晶格半导体(学科: 半导体物理学 学科: 研究) 超晶格半导体 半导体物理学

页数:294

出版社: 上海:上海科学技术出版社

出版日期:2004.08

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图书简介

本书分别介绍了Si-xGex/Si体系的基本物理特性;Si分子束外延设备、实时监测分析技术及各种类型的Si-xGex/Si材料的外延生长技术等诸多内容。

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